Norme internationale
ISO/TR 15969:2021
Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Mesurage de l'épaisseur bombardée
Numéro de référence
ISO/TR 15969:2021
ISO/TR 15969:2021
Edition 2
2021-03
2021-03
© ISO 2024
Norme internationale
ISO/TR 15969:2021
ISO/TR 15969:2021
80118
CHF
96
Convertir les francs suisses (CHF) dans une autre devise
Résumé
This document provides guidelines for measuring the sputtered depth in sputtered depth profiling.
The methods of sputtered depth measurement described in this document are applicable to techniques of surface chemical analysis when used in combination with ion bombardment for the removal of a part of a solid sample to a typical sputtered depth of up to several micrometres. The depth typically determined by this approach is between 1 nm to 500 µm.
Informations générales
-
État actuel: PubliéeDate de publication: 2021-03Stade: Norme internationale publiée [60.60]
-
Edition: 2
-
Comité technique :ISO/TC 201/SC 4ICS :71.040.40
- RSS mises à jour
Cycle de vie
-
Précédemment
AnnuléeISO/TR 15969:2001
-
Actuellement
Vous avez une question?
Consulter notre FAQ
Service à la clientèle
+41 22 749 08 88
Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)