Norme internationale
ISO 18114:2021
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Détermination des facteurs de sensibilité relative à l'aide de matériaux de référence à ions implantés
Numéro de référence
ISO 18114:2021
Edition 2
2021-05
© ISO 2024
Norme internationale
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Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2021)

ISO 18114:2021

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Langue
CHF 42
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Résumé

This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2021-05
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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