Résumé
Le présent document décrit les grandeurs d'influence et les caractéristiques des instruments utilisés dans les systèmes de microscopie confocale (MC) pour le mesurage surfacique de la topographie des surfaces. Comme les profils de surface peuvent être extraits des images par topographie de surface, les métodes décrites dans le présent document peuvent également être appliqués aux mesures de profilage
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2019-03Stade: Norme internationale publiée [60.60]
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Edition: 1Nombre de pages: 22
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Comité technique :ISO/TC 213ICS :17.040.20
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